一種磁控濺射膜上/下膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021196188.9 申請日 -
公開(公告)號 CN212559317U 公開(公告)日 2021-02-19
申請公布號 CN212559317U 申請公布日 2021-02-19
分類號 B66F7/18(2006.01)I;B66F7/28(2006.01)I 分類 卷揚(yáng);提升;牽引;
發(fā)明人 王兆甫;朱飛鵬;王龍 申請(專利權(quán))人 江蘇日久光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州科仁專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 郭楊
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市周莊鎮(zhèn)錦周公路509號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種磁控濺射膜上/下膜裝置,包括軌道、劃設(shè)于軌道上的滑動座、固定在滑動座上的立架、用于固定磁控濺射膜的磁控濺射膜支撐架及連接驅(qū)動磁控濺射膜上下活動的升降驅(qū)動機(jī)構(gòu);所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)為固定在所述滑動座上的頂部與所述磁控濺射膜支撐架相抵的千斤頂,并且所述立架與磁控濺射膜支撐架之間設(shè)有導(dǎo)向限位機(jī)構(gòu)。所述千斤頂通過千斤頂?shù)鬃潭ㄔ诨瑒幼?,通過遠(yuǎn)程遙控電動液壓千斤頂,以驅(qū)動磁控濺射支撐架通過導(dǎo)向限位機(jī)構(gòu)帶動膜材料升/降來完成上/下膜。千斤頂升/降速度相比卷揚(yáng)機(jī)要快,可以提高效率;加裝扶手,提高操作人員的自身安全;降低在產(chǎn)品在搬運(yùn)過程中由于支撐架的滑落,造成產(chǎn)品直接落地砸壞的風(fēng)險(xiǎn)。??