一種新型函數(shù)曲線跟隨電阻修刻方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410258503.9 申請日 -
公開(公告)號 CN104091664A 公開(公告)日 2014-10-08
申請公布號 CN104091664A 申請公布日 2014-10-08
分類號 H01C17/242(2006.01)I;G06F19/00(2011.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱勇 申請(專利權(quán))人 北京鋒速精密科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M3樓東一層B101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于激光調(diào)阻技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明提供了一種新型函數(shù)曲線跟隨電阻修刻方法,采用目前通用的激光修調(diào)系統(tǒng)原理,其特征在于:1)修調(diào)前確定待修調(diào)電阻的起始位和結(jié)束位,2)根據(jù)待修調(diào)電阻的長度、目標(biāo)總阻值及分割步數(shù)計算生成目標(biāo)阻值線性函數(shù)曲線,3)按照計算出的每分割段的目標(biāo)阻值通過阻值實(shí)時測量反饋,通過對每分割段實(shí)際阻值和目標(biāo)阻值的比對結(jié)果,來控制激光束實(shí)時跟隨目標(biāo)阻值曲線,以達(dá)到對阻值的線性修調(diào)目的。本發(fā)明采用的函數(shù)曲線跟隨方法不但具有高效率、高精度的特點(diǎn),同時針對線性電阻來說達(dá)到了真正意義上的無限細(xì)分,徹底避免了阻值突變的缺點(diǎn),極大提高了位移傳感器和角度傳感器的應(yīng)用精度。