反射式光柵尺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010259720.5 申請日 -
公開(公告)號 CN113124760A 公開(公告)日 2021-07-16
申請公布號 CN113124760A 申請公布日 2021-07-16
分類號 G01B11/02(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 巫孟良;李力強(qiáng);李康輝;吳海明 申請(專利權(quán))人 廣東萬濠精密儀器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市一新專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 劉興耿
地址 523000廣東省東莞市大朗鎮(zhèn)象山工業(yè)園象山中路39號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種反射式光柵尺,包括有光源、鏡頭、主光柵尺、副光柵尺和接收單元,所述主光柵尺上設(shè)有第一光柵條紋,所述副光柵上設(shè)有與所述第一光柵條紋相對應(yīng)的第二光柵條紋,所述接收單元與副光柵尺為相對平行間隔設(shè)置,所述光源設(shè)置于所述鏡頭上,所述第一光柵條紋包括RI碼道和增量碼道,RI碼道依次包括第一不反光區(qū)、增量碼道區(qū)、第一反射區(qū)、增量碼道區(qū)、第一不反射區(qū)、增量碼道區(qū)、第二反射區(qū)、第二不反光區(qū),接收單元上對應(yīng)RI碼道位置設(shè)有接收區(qū),所述接收區(qū)依次包括Z+信號區(qū)、A+信號區(qū)、B+信號區(qū)、A?信號區(qū)、B?信號區(qū)、Z?信號區(qū)。本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于:主光柵與副光柵距離拉遠(yuǎn)至菲捏爾焦面,RI信號依然強(qiáng)且RI觸發(fā)位置精準(zhǔn)的反射式光柵尺。