一種管式爐系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123348920.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216898401U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216898401U 申請公布日 2022-07-05
分類號 F27D11/02（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;F27D1/18（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 戴虹;王鵬;林罡;崔慧敏;施艇;朱加寬 申請（專利權(quán)）人 理想晶延半導體設備（上海）股份有限公司
代理機構(gòu) 上海恒銳佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 201620上海市松江區(qū)思賢路3255號3幢402
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種管式爐系統(tǒng)，包括：管式爐體；加熱爐絲；保溫體；冷卻介質(zhì)管道，所述冷卻介質(zhì)管包括輸入端和輸出端，所述輸入端和所述輸出端穿過所述保溫體插入所述加熱爐絲，以向所述加熱爐絲內(nèi)部通入冷卻介質(zhì)；所述輸入端設置于所述加熱爐絲軸向上的中心區(qū)域，所述輸出端設置于所述加熱爐絲軸向上的兩端區(qū)域，將冷卻介質(zhì)從加熱爐絲中心區(qū)域通入并從兩端區(qū)域流出，實現(xiàn)快速降溫，減少降溫時間進而降低整個工藝流程的時長，提高效率；并且根據(jù)管式爐的特點，在兩端爐門位置散熱較快的情況下，提升管式爐系統(tǒng)在長度方向上降溫的均勻性，避免載具散熱不均而損壞。