管式清洗設(shè)備以及光伏鍍膜系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110205996.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113000487A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN113000487A 申請公布日 2021-06-22
分類號 B08B5/02;B08B13/00;H01J37/32;H01L31/18 分類 清潔;
發(fā)明人 奚明;胡兵;陽詩友;吳紅星;劉鋒;王祥;袁剛 申請（專利權(quán)）人 理想晶延半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機構(gòu) 上海恒銳佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃海霞
地址 201620 上海市松江區(qū)思賢路3255號3幢402
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種管式清洗設(shè)備，包括筒形腔體以及設(shè)置于所述筒形腔體的清洗供氣部。本發(fā)明的所述管式清洗設(shè)備中，所述清洗供氣部包括的若干出氣口的一部分朝向所述筒形腔體的同一組成部分設(shè)置以使提供的清洗氣體形成主噴射軌跡，另一部分朝向所述主噴射軌跡設(shè)置，有利于通過自不同出氣口噴射的清洗氣體相互之間形成擾流，對所述筒形腔體內(nèi)不同部位，特別是遠(yuǎn)離所述若干出氣口部位的清洗氣體濃度起到增強及擾動作用，從而實現(xiàn)清洗氣體在筒形腔體內(nèi)的再混合以及提高待清洗器件和清洗氣體的接觸面積來提高清洗效率。本發(fā)明還提供了包含所述管式清洗設(shè)備的光伏鍍膜系統(tǒng)。