一種增強型狹縫光波導(dǎo)光柵FP腔光學(xué)生化傳感芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310181958.0 申請日 -
公開（公告）號 CN103245636A 公開（公告）日 2013-08-14
申請公布號 CN103245636A 申請公布日 2013-08-14
分類號 G01N21/45(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王卓然;袁國慧;高亮 申請（專利權(quán)）人 天津瑞晟昱發(fā)激光科技有限公司
代理機構(gòu) 成都宏順專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都譜視科技有限公司;天津瑞晟昱發(fā)激光科技有限公司
地址 610041 四川省成都市成都高新區(qū)高朋大道5號1棟110室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種增強型狹縫光波導(dǎo)光柵FP腔光學(xué)生化傳感芯片，包括自下而上依次層疊鍵合的硅基層、二氧化硅層和單晶硅層構(gòu)成的基體，中心狹縫槽位于基體長度方向的中心軸線上，長度與基體所述中心軸線相等，增強狹縫槽對稱分布與中心狹縫槽兩邊，方向與中心狹縫槽一致，所述增強狹縫槽位于所述光柵FP腔的兩個光柵之間的區(qū)域。本發(fā)明的光學(xué)生化傳感芯片通過在頂部的單晶硅層形成光柵FP腔檢測外界物質(zhì)對光信號的影響，同時引入狹縫光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，使光信號的檢測從傳統(tǒng)的倏逝場轉(zhuǎn)向狹縫空間，其優(yōu)勢在于狹縫空間中的光能量密度遠(yuǎn)大于倏逝場中光能量的密度，光與物質(zhì)相互作用更強，使檢測靈敏度更高，檢測難度進(jìn)一步降低。