一種增強(qiáng)型狹縫光波導(dǎo)光柵FP腔光學(xué)生化傳感芯片
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310181958.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN103245636B | 公開（公告）日 | 2016-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103245636B | 申請(qǐng)公布日 | 2016-05-25 |
| 分類號(hào) | G01N21/45(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王卓然;袁國慧;高亮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 天津瑞晟昱發(fā)激光科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都宏順專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 成都譜視科技有限公司;天津瑞晟昱發(fā)激光科技有限公司 |
| 地址 | 610041 四川省成都市成都高新區(qū)高朋大道5號(hào)1棟110室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明的一種增強(qiáng)型狹縫光波導(dǎo)光柵FP腔光學(xué)生化傳感芯片，包括自下而上依次層疊鍵合的硅基層、二氧化硅層和單晶硅層構(gòu)成的基體，中心狹縫槽位于基體長度方向的中心軸線上，長度與基體所述中心軸線相等，增強(qiáng)狹縫槽對(duì)稱分布與中心狹縫槽兩邊，方向與中心狹縫槽一致，所述增強(qiáng)狹縫槽位于所述光柵FP腔的兩個(gè)光柵之間的區(qū)域。本發(fā)明的光學(xué)生化傳感芯片通過在頂部的單晶硅層形成光柵FP腔檢測(cè)外界物質(zhì)對(duì)光信號(hào)的影響，同時(shí)引入狹縫光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，使光信號(hào)的檢測(cè)從傳統(tǒng)的倏逝場(chǎng)轉(zhuǎn)向狹縫空間，其優(yōu)勢(shì)在于狹縫空間中的光能量密度遠(yuǎn)大于倏逝場(chǎng)中光能量的密度，光與物質(zhì)相互作用更強(qiáng)，使檢測(cè)靈敏度更高，檢測(cè)難度進(jìn)一步降低。 |
