一種基于游標(biāo)效應(yīng)光學(xué)諧振腔生化傳感芯片

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310181087.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103308479B 公開（公告）日 2016-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN103308479B 申請(qǐng)公布日 2016-07-06
分類號(hào) G01N21/45(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 袁國慧;王卓然;高亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津瑞晟昱發(fā)激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都宏順專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都譜視科技有限公司;天津瑞晟昱發(fā)激光科技有限公司
地址 610041 四川省成都市成都高新區(qū)高朋大道5號(hào)1棟110室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種基于游標(biāo)效應(yīng)光學(xué)諧振腔生化傳感芯片，包括自下而上依次層疊鍵合的硅基層、二氧化硅層和單晶硅層構(gòu)成的SOI基體，其特征在于，所述SOI基體的單晶硅層包含第一光學(xué)諧振腔和第二光學(xué)諧振腔，所述第一光學(xué)諧振腔與第二光學(xué)諧振腔具有不相同的自由光譜范圍，二者光學(xué)耦合連接。由于在方案中引入狹縫光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，而狹縫波導(dǎo)能夠?qū)⒐鈽O大的限制在狹縫區(qū)域以增強(qiáng)光和物質(zhì)之間的相互作用，其優(yōu)勢(shì)在于狹縫空間中的光能量密度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于倏逝場(chǎng)中光能量的密度，光與物質(zhì)相互作用更強(qiáng)，檢測(cè)靈敏度更高。并可以在達(dá)到相同傳感性能的條件下，有利于實(shí)現(xiàn)光學(xué)生化傳感器的微型化與片上傳感系統(tǒng)。