一種PVD法生產(chǎn)硒化鋅的改進(jìn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121855787.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215560805U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215560805U 申請公布日 2022-01-18
分類號 C30B28/12（2006.01）I;C30B29/48（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楊錦春;王勁;吳玉堂;朱敏 申請（專利權(quán)）人 南京波長光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京中律知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李建芳
地址 211121江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種PVD法生產(chǎn)硒化鋅的改進(jìn)裝置，包括蒸發(fā)沉積系統(tǒng)和真空系統(tǒng)；蒸發(fā)沉積系統(tǒng)包括保溫外殼和石英管罩；保溫外殼內(nèi)側(cè)沿軸向分割為蒸發(fā)區(qū)和沉積區(qū)；石英管罩位于保溫外殼內(nèi)側(cè)，位于蒸發(fā)區(qū)的石英管罩內(nèi)側(cè)設(shè)有盛料組件；位于沉積區(qū)的石英管罩內(nèi)側(cè)設(shè)有沉積模具；石英管罩外側(cè)和蒸發(fā)區(qū)內(nèi)側(cè)之間設(shè)有蒸發(fā)加熱器，石英管罩外側(cè)和沉積區(qū)內(nèi)側(cè)之間設(shè)有沉積加熱器；蒸發(fā)加熱器和沉積加熱器之間設(shè)有隔熱層；位于沉積區(qū)的石英管罩端部伸出保溫外殼與真空系統(tǒng)連通。上述裝置實(shí)現(xiàn)了利用PVD法的原理制備大尺寸均勻厚度的硒化鋅多晶板料，提高了材料利用率，解決了多數(shù)PVD法生產(chǎn)的硒化鋅板材兩端厚度不一致的問題。