一種二氧化碳激光超硬膜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121871397.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215560681U 公開（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215560681U 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類號(hào) C23C28/00（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳佳佳;李全民;朱敏;吳玉堂 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京波長(zhǎng)光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京中律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李建芳
地址 211121江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種二氧化碳激光超硬膜，膜層結(jié)構(gòu)為：SUB/aHbLcHdM/A，其中，SUB代表ZnSe基底層、A代表空氣、H代表Ge層、L代表ZnS層、M代表DLC層；a、b、c和d代表每層的四分之一參考波長(zhǎng)光學(xué)厚度的系數(shù)。本實(shí)用新型二氧化碳激光超硬膜，用極少的間隔膜層，得到了光學(xué)性能優(yōu)良、制備重復(fù)性好、膜層附著力強(qiáng)、耐摩擦的激光超硬增透膜，該增透膜在10.6μm和9.4μm波段的透過率均>99.5％，滿足了激光的保護(hù)窗的使用要求。