一種紫外光束質量分析儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121808714.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215573364U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215573364U 申請公布日 2022-01-18
分類號 G01J1/42（2006.01）I;G01J1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 丁志偉;丁樂;嚴會文;王國力;朱敏 申請（專利權）人 南京波長光電科技股份有限公司
代理機構 南京中律知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 李建芳
地址 211121江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種紫外光束質量分析儀，沿光線傳播方向包括依次相接的物鏡、反射塊、衰減模塊和CCD相機；物鏡與反射塊之間為活動連接，反射塊與衰減模塊之間為活動連接，衰減模塊沿光線傳播方向包括依次相接的衰減片和濾光片；物鏡沿光線傳播方向包括依次相接的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡；反射塊有首尾相接的一塊以上，每塊反射塊上均安裝了分光后的吸熱模塊；反射塊所用反射鏡為楔形鏡。上述裝置利用紫外物鏡將測試光斑放大，再用相機觀察放大的光斑大小與圓度，用于測量微米級聚焦光斑；另外此增加了反射、衰減機構，還可以用于高功率激光測量；通過模塊化設計，可根據需要拆裝組合，可以測量更寬幅的功率。