一種超低吸收的CO2激光雙面增透膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210065171.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN114217364A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號(hào) CN114217364A 申請公布日 2022-03-22
分類號(hào) G02B1/115（2015.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳莉;李全民;劉翔銀;朱敏;吳玉堂 申請（專利權(quán)）人 南京波長光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京中律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李建芳
地址 211121江蘇省南京市江寧區(qū)湖熟工業(yè)集中區(qū)波光路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種CO2波段超低吸收雙面增透膜及其制備方法，CO2激光波段超低吸收雙面增透膜，其結(jié)構(gòu)為：Air/qHpL/Sub/pLqH/Air；其中，Sub代表基底；H代表高折射率膜料ZnSe膜層；L代表低折射率膜層，L為兩種低折射率膜料L1膜層和L2膜層的混合膜層，兩種低折射率膜料L1膜層和L2膜層的折射率均為1～1.6，低折射率膜料L1膜層和低折射率膜料L2膜層所用材料不同，低折射率膜料L1膜層：低折射率膜料L2膜層的光學(xué)厚度比例控制在1：3～1：6。本發(fā)明在硒化鋅基片兩側(cè)表面鍍制膜系，并通過結(jié)合兩種低折射率膜料混鍍，實(shí)現(xiàn)10600nm增透，減少了吸收，提高了透過率，平均透過率大于99.7％，單面反射小于0.1％，吸收由原先的0.3％降低到0.1％以內(nèi)，抗激光損傷閾值經(jīng)檢測由原先的6000W/CM2提升到10000W/CM2。