一種真空吸筆

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021865726.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213459691U 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN213459691U 申請公布日 2021-06-15
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳洲峰;王虎 申請（專利權(quán)）人 武漢銳晶激光芯片技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京眾達(dá)德權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉冬
地址 430000湖北省武漢市未來科技城A5北C1棟902室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于真空吸筆裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空吸筆，包括筆桿和吸筆頭；其中，所述吸筆頭的兩端分別設(shè)有吸附孔（1）。本實用新型提供的真空吸筆，具有兩個吸附孔（1），可吸附在晶圓片有效區(qū)之外，且吸附穩(wěn)固，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)的真空吸筆會對晶圓片的圖形區(qū)域造成污染或損傷的缺陷，同時能夠提高工作效率。