一種吸筆

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021530084.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212517152U 公開（公告）日 2021-02-09
申請公布號 CN212517152U 申請公布日 2021-02-09
分類號 H01L21/683(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡明;舒威;胡楊;陳懇;王虎;聶銘思 申請（專利權(quán)）人 武漢銳晶激光芯片技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京眾達德權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 詹守琴
地址 430000湖北省武漢市未來科技城A5北C1棟902室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種吸筆，屬于晶圓片吸附技術(shù)領(lǐng)域。所述吸筆包括：支撐桿、若干第一伸縮桿、若干連接桿及若干吸盤；若干所述第一伸縮桿的第一端均與所述支撐桿固定連接；若干所述第一伸縮桿與若干所述連接桿一一對應(yīng)，所述第一伸縮桿的第二端與相對應(yīng)的所述連接桿的第一端固定連接；若干所述連接桿與若干所述吸盤一一對應(yīng)，所述連接桿的第二端與相對應(yīng)的所述吸盤固定連接。本實用新型吸筆操作簡便，不受薄片本身只能吸取特定的一面的限制，雙面皆可吸，操作簡便，避免吸筆頭直接接觸晶圓片有效區(qū)域而造成損傷，可明顯消除由吸筆操作造成的各種損傷。??