一種氣體循環(huán)裝置及裝置內(nèi)氣體循環(huán)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410001129.4 申請日 -
公開（公告）號 CN103966608B 公開（公告）日 2018-05-22
申請公布號 CN103966608B 申請公布日 2018-05-22
分類號 C23F1/46 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 耐迪·薩多克 申請（專利權）人 橋德聯(lián)合自動化（蘇州）有限公司
代理機構 南京蘇科專利代理有限責任公司 代理人 陶克（蘇州）機械設備有限公司
地址 215022 江蘇省蘇州市展業(yè)路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種與刻蝕液設備連接的氣體循環(huán)系統(tǒng)及裝置內(nèi)氣體循環(huán)方法。通過冷凝階段、洗滌階段及電滲析階段能有效地處理刻蝕液再生過程中產(chǎn)生的有害氣體。本發(fā)明的突出效果為：刻蝕液再生用電解槽結構簡單、緊湊，能很好地為再生過程提供需要的加速劑和反應氣體；整個再生過程不需要添加任何再生用的添加劑；提高了蝕刻過程的穩(wěn)定性和靈活性，將大大改善蝕刻工藝；最終無有害氣體排出，綠色環(huán)保。