一種具有噴淋功能的晶硅制絨設備抓手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721194145.5 申請日 -
公開（公告）號 CN207165600U 公開（公告）日 2018-03-30
申請公布號 CN207165600U 申請公布日 2018-03-30
分類號 H01L31/18;H01L21/673 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程強強;霍召軍 申請（專利權）人 橋德聯(lián)合自動化（蘇州）有限公司
代理機構 上海申新律師事務所 代理人 庫特勒環(huán)?？萍迹ㄌK州）有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)泰山路6號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種具有噴淋功能的晶硅制絨設備抓手，包括由頂板、左右側擋板和前后固定板組成的龍門架；龍門架的左右兩側分別設有抓手板，抓手板的上部為連接板，兩塊抓手板分別通過各自的連接板固定在左右側擋板的外側面上；抓手板的下部設有四根抓手，每根抓手底部的內側面上均設有一爪鉤；前后固定板之間連接有一噴淋頭安裝板，噴淋頭安裝板的中部設有一噴淋頭，噴淋頭通過水管與一水泵連接。本實用新型在可在抓手轉移晶硅片籃子時，始終對晶硅片進行噴淋或噴霧，以確保晶硅片的表面保持一定的濕度，防止晶硅片表面氧化，尤其是避免了當晶硅片從堿洗槽中吊起時，堿液在其表面產生凝結，這大大提升了產品質量，降低了不良率。