一種晶硅制絨設(shè)備的清洗槽勻流支撐板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721200069.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207250546U 公開(kāi)（公告）日 2018-04-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN207250546U 申請(qǐng)公布日 2018-04-17
分類(lèi)號(hào) H01L31/18;C30B33/10 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 程強(qiáng)強(qiáng);霍召軍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 橋德聯(lián)合自動(dòng)化（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 庫(kù)特勒環(huán)保科技（蘇州）有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)泰山路6號(hào)2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶硅制絨設(shè)備的清洗槽勻流支撐板，橫向安裝在清洗槽槽體內(nèi)的中下部，包括一底板，底板上開(kāi)設(shè)有均勻分布的勻流孔，底板上表面的前后兩端分別設(shè)有一根支座條，每根支座條上均開(kāi)設(shè)有兩個(gè)倒梯形的凹口；位于前端的兩個(gè)凹口與位于后端的兩個(gè)凹口前后兩兩對(duì)應(yīng)，形成兩個(gè)用于承托晶硅片籃子的支撐座。本實(shí)用新型將原來(lái)清洗槽內(nèi)的支撐框架改進(jìn)為勻流支撐板，這大大緩解了清洗液對(duì)晶硅片的沖擊力，避免晶硅片被打壞，降低了產(chǎn)品的不良率，提高了制絨設(shè)備的生產(chǎn)效率。本實(shí)用新型的底板位置微調(diào)裝置可調(diào)整勻流支撐板在水平方向上的位置，確保晶硅片籃子準(zhǔn)確安放在底板的支撐座上，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶硅片的完美清洗。