一種晶硅制絨設(shè)備的清洗槽勻流支撐板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721200069.4 申請日 -
公開（公告）號 CN207250546U 公開（公告）日 2018-04-17
申請公布號 CN207250546U 申請公布日 2018-04-17
分類號 H01L31/18;C30B33/10 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程強(qiáng)強(qiáng);霍召軍 申請（專利權(quán)）人 橋德聯(lián)合自動化（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 庫特勒環(huán)?？萍迹ㄌK州）有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)泰山路6號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶硅制絨設(shè)備的清洗槽勻流支撐板，橫向安裝在清洗槽槽體內(nèi)的中下部，包括一底板，底板上開設(shè)有均勻分布的勻流孔，底板上表面的前后兩端分別設(shè)有一根支座條，每根支座條上均開設(shè)有兩個倒梯形的凹口；位于前端的兩個凹口與位于后端的兩個凹口前后兩兩對應(yīng)，形成兩個用于承托晶硅片籃子的支撐座。本實用新型將原來清洗槽內(nèi)的支撐框架改進(jìn)為勻流支撐板，這大大緩解了清洗液對晶硅片的沖擊力，避免晶硅片被打壞，降低了產(chǎn)品的不良率，提高了制絨設(shè)備的生產(chǎn)效率。本實用新型的底板位置微調(diào)裝置可調(diào)整勻流支撐板在水平方向上的位置，確保晶硅片籃子準(zhǔn)確安放在底板的支撐座上，實現(xiàn)對晶硅片的完美清洗。