一種晶硅制絨設(shè)備的清洗槽排液口過濾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721200584.2 申請日 -
公開（公告）號 CN207386118U 公開（公告）日 2018-05-22
申請公布號 CN207386118U 申請公布日 2018-05-22
分類號 B08B13/00;B01D29/03;B01D35/027 分類 清潔;
發(fā)明人 程強(qiáng)強(qiáng);霍召軍 申請（專利權(quán)）人 橋德聯(lián)合自動化（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 庫特勒環(huán)?？萍迹ㄌK州）有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)泰山路6號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶硅制絨設(shè)備的清洗槽排液口過濾裝置，包括一清洗槽的槽體，所述槽體底板上設(shè)有一排液口，所述槽體左右兩側(cè)的內(nèi)壁與所述槽體底板之間分別設(shè)有一傾斜的清洗液收集板；所述排液口與所述槽體底部的排液管連接，所述排液口上設(shè)有一用于過濾碎硅片的過濾片，所述過濾片上設(shè)有均勻分布的過濾孔。本實(shí)用新型在制絨設(shè)備清洗槽中設(shè)置了傾斜的清洗液收集板，更便于收集清洗完硅片后的酸堿清洗液，并在清洗槽槽底增設(shè)了過濾片，以抵擋碎硅片落入排液管內(nèi)，避免了因碎硅片而引起的排液管堵塞問題，較好地提高了晶硅制絨設(shè)備的生產(chǎn)效率。同時本實(shí)用新型在槽體排液口和排液管的連接處采用了活接頭，方便了排液口的正常維護(hù)和疏通。