一種晶硅制絨設(shè)備的擋氣板
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721192864.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN207441664U | 公開（公告）日 | 2018-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207441664U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/67;H01L31/18 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 程強(qiáng)強(qiáng);霍召軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 橋德聯(lián)合自動(dòng)化（蘇州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海申新律師事務(wù)所 | 代理人 | 庫特勒環(huán)?？萍迹ㄌK州）有限公司 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)泰山路6號(hào)2幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶硅制絨設(shè)備的擋氣板，包括一“Y”型框架，其下半部為框架主體，上半部為兩塊框架擋邊；兩塊框架擋邊的內(nèi)側(cè)面上分別開設(shè)有縱向的滑槽，兩條滑槽之間設(shè)有一透明擋板，框架主體內(nèi)部設(shè)有一伸縮機(jī)構(gòu)，伸縮機(jī)構(gòu)與透明擋板的底部連接。本實(shí)用新型安裝在制絨設(shè)備的進(jìn)料處，當(dāng)擺放有晶硅片的籃子需要被送入制絨設(shè)備時(shí)，伸縮機(jī)構(gòu)控制透明擋板落入框架本體中，以便抓手能夠順利地抓取籃子并將其吊入清洗槽內(nèi)，當(dāng)清洗晶硅片時(shí)，伸縮機(jī)構(gòu)控制透明擋板上升至最頂處，擋板連同框架一起將制絨設(shè)備的進(jìn)料處封閉起來，以阻擋清洗時(shí)產(chǎn)生的酸、堿性氣體從制絨設(shè)備中發(fā)散出來，從而避免車間環(huán)境遭受污染，保護(hù)了儀器設(shè)備和工人健康。 |
