一種光刻膠去邊機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720416655.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206627759U 公開（公告）日 2017-11-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN206627759U 申請(qǐng)公布日 2017-11-10
分類號(hào) G03F7/42(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 梁萬(wàn)國(guó);李廣偉;張新漢;陳懷熹;繆龍;馮新凱;鄒小林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建睿創(chuàng)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州科揚(yáng)專利事務(wù)所 代理人 福建中科晶創(chuàng)光電科技有限公司;福建睿創(chuàng)光電科技有限公司
地址 350100 福建省福州市閩侯縣上街鎮(zhèn)科技東路中科院海西研究院（中國(guó)科學(xué)院福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所）3號(hào)樓726室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種光刻膠去邊機(jī)，包括真空涂膠裝置，所述真空涂膠裝置包括一透明硬質(zhì)腔室和一設(shè)于腔室外部并與腔室連接的真空泵，所述腔室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)涂膠臺(tái)、涂膠嘴和刮膠裝置，所述涂膠嘴設(shè)置在刮膠裝置上并位于旋轉(zhuǎn)涂膠臺(tái)的中心上方；所述刮膠裝置包括與腔室頂部連接的操作臂、固定于操作臂自由端的溶劑噴頭以及與溶劑噴頭連通的溶劑噴霧裝置，所述操作臂設(shè)置在一與腔室底部連接的L型支架上，操作臂包括第一伸縮支臂和第二伸縮支臂，所述第一伸縮支臂豎直設(shè)置，其一端與L型支架自由端下側(cè)壁可轉(zhuǎn)動(dòng)連接且位于旋轉(zhuǎn)涂膠臺(tái)的中心上方，第一伸縮支臂繞著第一伸縮支臂與L型支架自由端下側(cè)壁的連接點(diǎn)旋轉(zhuǎn)，其另一端與水平設(shè)置的第二伸縮支臂一端連接；所述涂膠嘴設(shè)置在第一伸縮支臂和第二伸縮支臂連接處。