一種內(nèi)圓切割?yuàn)A具定位系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610078776.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105651171B 公開(kāi)（公告）日 2017-12-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN105651171B 申請(qǐng)公布日 2017-12-19
分類(lèi)號(hào) G01B11/00(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 梁萬(wàn)國(guó);李廣偉;張新漢;陳懷熹;陳立元;馮新凱;鄒小林;繆龍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 福建睿創(chuàng)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州科揚(yáng)專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 福建中科晶創(chuàng)光電科技有限公司;福建睿創(chuàng)光電科技有限公司
地址 350108 福建省福州市閩侯縣上街鎮(zhèn)海西高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園中科院海西研究院工作區(qū)3號(hào)樓726室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種內(nèi)圓切割?yuàn)A具定位系統(tǒng)及方法，所述裝夾夾具與器件支架相隔一定距離并排設(shè)置；所述光柵元件夾具具有一固定光柵元件的平面，相鄰光柵元件的光柵槽方向所成角度為90?180°；光柵元件夾具固定于裝夾夾具上，光柵元件夾具的平面與裝夾夾具的平面平行，光柵元件夾具的平面可繞一中心軸旋轉(zhuǎn)；所述單波長(zhǎng)激光器、反射鏡、刻度板、監(jiān)控鏡頭固定于器件支架上，反射鏡固定于單波長(zhǎng)激光器的光束出射方向，反射鏡改變單波長(zhǎng)激光器以及光柵元件的光束方向，使光柵元件所產(chǎn)生的衍射光入射到刻度板預(yù)定刻度線(xiàn)上；所述監(jiān)控鏡頭監(jiān)控刻度板上衍射光的刻度線(xiàn)位置。本發(fā)明具有提高相鄰切割邊垂直度，提高垂直度控制穩(wěn)定性，降低切割成本等優(yōu)點(diǎn)。