一種勻膠顯影機的顯影方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010754884.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111965957A 公開（公告）日 2020-11-20
申請公布號 CN111965957A 申請公布日 2020-11-20
分類號 G03F7/30 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 丁桃寶 申請（專利權(quán)）人 江蘇晉譽達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州金項專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 江蘇晉譽達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種勻膠顯影機的顯影方法，包括以下步驟：S1、將晶圓輸送至旋轉(zhuǎn)臺上；S2、旋轉(zhuǎn)臺勻加速至900?1200rpm并勻速持續(xù)50?60S，顯影液噴淋至晶圓表面；S旋轉(zhuǎn)臺勻減速至150?200rpm并勻速持續(xù)25?30S，顯影液持續(xù)噴淋；S4、旋轉(zhuǎn)臺勻減速至0并保持25?35S，停止噴淋顯影液；S5、旋轉(zhuǎn)臺勻加速至1050?1150rpm并持續(xù)30?40s，顯影液持續(xù)噴淋；S6、旋轉(zhuǎn)臺勻減速至150?200rpm并勻速持續(xù)50?55S，顯影液噴嘴停止噴淋并用去離子水清洗；S7、旋轉(zhuǎn)臺勻加速至1500?1600rpm并持續(xù)30?35S；S8、對晶圓表面吹掃氮氣持續(xù)25?30S；S9、旋轉(zhuǎn)臺停止并將晶圓移出。該顯影方法可以改善晶圓線條寬度的均勻性和表面圖案的一致性，提高芯片的良品率。