一種顯影液的溫控裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022677950.1 申請日 -
公開(公告)號 CN213240805U 公開(公告)日 2021-05-18
申請公布號 CN213240805U 申請公布日 2021-05-18
分類號 G03F7/30;G05D23/20 分類 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 蔣磊;許愿 申請(專利權(quán))人 江蘇晉譽達半導(dǎo)體股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州金項專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 金星
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種顯影液的溫控裝置,該裝置包括顯影液供應(yīng)管、第一換熱三通接頭、第二換熱三通接頭和換熱套管,換熱套管套裝在顯影液供應(yīng)管外部,顯影液供應(yīng)管依次貫穿第一換熱三通接頭和第二換熱三通接頭上,換熱套管一端密封插裝固定于第一連接管口,另一端密封插裝固定于第二連接管口,換熱介質(zhì)注入管口上密封插裝有換熱介質(zhì)供應(yīng)管,換熱介質(zhì)流出管口密封插裝有換熱介質(zhì)流出管,換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管分別連接對換熱介質(zhì)進行調(diào)溫的調(diào)溫換熱裝置。該溫控裝置和方法可以更加準確的調(diào)節(jié)顯影液的溫度。