一種聲表面波濾波器的成型工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010754883.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112003582A 公開（公告）日 2020-11-27
申請公布號 CN112003582A 申請公布日 2020-11-27
分類號 H03H9/145(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 黃佳 申請（專利權(quán)）人 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州金項專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種聲表面波濾波器的成型工藝，包括以下步驟：S1、在半導(dǎo)體基片的上表面沉積形成金屬膜層；S2、在金屬膜層的上表面形成光刻膠并前烘處理；S3、利用掩膜對光刻膠進(jìn)行曝光；S4、對光刻膠顯影形成與器件圖像相同的光刻膠圖形；S5、對產(chǎn)品進(jìn)行后烘處理；S6、利用氧氣和四氟甲烷在等離子體環(huán)境下對光刻膠圖形的側(cè)壁底部的流膠進(jìn)行微刻蝕；S7、利用干法刻蝕工藝刻蝕金屬膜層后形成與光刻膠圖形相同的金屬膜圖形；S8、去除金屬膜上表面光刻膠得到濾波器器件；S9、利用離子風(fēng)機(jī)對濾波器器件表面進(jìn)行吹掃。該成型工藝可以對流膠進(jìn)行微刻蝕，從而生產(chǎn)出線條符合設(shè)計版圖要求的聲表面波濾波器。??