一種顯影液的溫控裝置及其溫控方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011294280.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112241112A 公開（公告）日 2021-01-19
申請公布號 CN112241112A 申請公布日 2021-01-19
分類號 G03F7/30(2006.01)I;G05D23/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 蔣磊;許愿 申請（專利權(quán)）人 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種顯影液的溫控裝置及溫控方法，該裝置包括顯影液供應(yīng)管、第一換熱三通接頭、第二換熱三通接頭和換熱套管，換熱套管套裝在顯影液供應(yīng)管外部，顯影液供應(yīng)管依次貫穿第一換熱三通接頭和第二換熱三通接頭上，換熱套管一端密封插裝固定于第一連接管口，另一端密封插裝固定于第二連接管口，換熱介質(zhì)注入管口上密封插裝有換熱介質(zhì)供應(yīng)管，換熱介質(zhì)流出管口密封插裝有換熱介質(zhì)流出管，換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管分別連接對換熱介質(zhì)進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫?fù)Q熱裝置。該溫控裝置和方法可以更加準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)顯影液的溫度。??