光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置及自動補給方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011291724.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112229114A | 公開（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申請公布號 | CN112229114A | 申請公布日 | 2021-01-15 |
| 分類號 | F25B45/00(2006.01)I | 分類 | 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯(lián)合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲存；氣體的液化或固化; |
| 發(fā)明人 | 吳嘯;黃文興 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇晉譽達半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 蘇州金項專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 江蘇晉譽達半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 地址 | 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，包括箱體，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有氟利昂儲罐，氟利昂儲罐的出口連接有補給管路，所述補給管路的一端伸出箱體外部且設(shè)置與光刻機空調(diào)的補給口進行快速對接的快速接頭；所述補給管路上設(shè)置有電磁閥、壓力傳感器和單向閥，所述箱體內(nèi)設(shè)置有與電磁閥和壓力傳感器導(dǎo)電連接的控制器和給控制器供電的電源，所述光刻機空調(diào)的氟利昂管道上的測壓傳感器與所述控制器導(dǎo)電連接。另外本發(fā)明還公開了使用該自動補給裝置的自動補給方法，該自動補給方法和裝置可以根據(jù)空調(diào)的氟利昂管道的壓力自動補給氟利昂。?? |
