光刻機(jī)空調(diào)氟利昂的自動補(bǔ)給裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022678102.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213480663U 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN213480663U 申請公布日 2021-06-18
分類號 F25B45/00（2006.01）I 分類 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯(lián)合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲存；氣體的液化或固化;
發(fā)明人 吳嘯;黃文興 申請（專利權(quán)）人 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金星
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種光刻機(jī)空調(diào)氟利昂的自動補(bǔ)給裝置，包括箱體，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有氟利昂儲罐，氟利昂儲罐的出口連接有補(bǔ)給管路，所述補(bǔ)給管路的一端伸出箱體外部且設(shè)置與光刻機(jī)空調(diào)的補(bǔ)給口進(jìn)行快速對接的快速接頭；所述補(bǔ)給管路上設(shè)置有電磁閥、壓力傳感器和單向閥，所述箱體內(nèi)設(shè)置有與電磁閥和壓力傳感器導(dǎo)電連接的控制器和給控制器供電的電源，所述光刻機(jī)空調(diào)的氟利昂管道上的測壓傳感器與所述控制器導(dǎo)電連接。該自動補(bǔ)給裝置可以根據(jù)空調(diào)的氟利昂管道的壓力自動補(bǔ)給氟利昂。