一種勻膠顯影機(jī)用顯影液自動(dòng)配置系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021552904.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213348762U 公開（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213348762U 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類號(hào) B01F15/04;B01F15/02;B01F13/10;B01F15/00;G03F7/32 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 蔣磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金星
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種勻膠顯影機(jī)用顯影液自動(dòng)配置系統(tǒng)，包括原液儲(chǔ)罐、配比箱、顯影液儲(chǔ)罐、原液量瓶、純水量罐和純水儲(chǔ)罐；原液儲(chǔ)罐將原液加入到原液量瓶中，純水儲(chǔ)罐中的純水加入到純水量罐中，而原液量瓶和純水量罐之間的體積比等于顯影液中原液和純水的體積比，這樣滿的原液量瓶和純水量罐加入到配比箱中配置后再加入到顯影液儲(chǔ)罐中，該自動(dòng)配置系統(tǒng)可以準(zhǔn)確的將原液和純水按照指定的比例配置，減少成本。