一種熱板的圓片頂升裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021695474.X 申請日 -
公開(公告)號 CN212542369U 公開(公告)日 2021-02-12
申請公布號 CN212542369U 申請公布日 2021-02-12
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔣磊 申請(專利權(quán))人 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 金星
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種熱板的圓片頂升裝置,包括箱體,所述箱體上端固定設(shè)置有加熱裝置,所述箱體一側(cè)臂下端固定連接有放置箱,所述放置箱內(nèi)部固定設(shè)置有電機(jī),所述電機(jī)的輸出端固定連接有第一轉(zhuǎn)動桿,所述第一轉(zhuǎn)動桿的兩端均固定連接有主動錐齒輪,所述箱體內(nèi)底部固定設(shè)置有三個轉(zhuǎn)動底座,所述三個轉(zhuǎn)動底座內(nèi)部分別轉(zhuǎn)動設(shè)置有第一螺紋桿、第二螺紋桿和第三螺紋桿,所述第一螺紋桿、第二螺紋桿和第三螺紋桿底部均固定連接有從動錐齒輪,所述第一螺紋桿和第二螺紋桿之間固定設(shè)置有兩個支撐座。本實(shí)用新型公開了一種熱板的圓片頂升裝置,該裝置結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,傳動效率高,定位準(zhǔn)確,可以有效的降低圓片碎片的風(fēng)險,值得推廣。??