一種硅片的旋轉(zhuǎn)預(yù)矯正裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | 2020217081204 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212433582U | 公開（公告）日 | 2021-01-29 |
| 申請公布號 | CN212433582U | 申請公布日 | 2021-01-29 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I; | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 黃佳 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 金星 |
| 地址 | 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路2號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種硅片的旋轉(zhuǎn)預(yù)矯正裝置，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)有升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的放置平臺(tái)，所述放置平臺(tái)上定位有硅片盛放盒，所述機(jī)架上設(shè)有水平支架，所述水平支架上設(shè)有豎向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述豎向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上驅(qū)動(dòng)有支撐座，所述支撐座上轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有矯正機(jī)構(gòu)，所述矯正機(jī)構(gòu)與所述硅片盛放盒的開口端同側(cè)設(shè)置。通過豎向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)支撐座上升、并靠近硅片盛放盒內(nèi)的硅片，之后通過轉(zhuǎn)動(dòng)的矯正機(jī)構(gòu)對硅片施力、并使硅片與硅片盛放盒上的端臂相抵，進(jìn)而在往光刻機(jī)移送硅片前，完成了(位置發(fā)生變化的)硅片的復(fù)位矯正工作，提高了硅片移送至光刻區(qū)域的精確度，有效保障了光刻機(jī)正常工作的連續(xù)性和工作效率。?? |
