一種仿蝴蝶翅膀的三維納米結(jié)構(gòu)制備方法及三維納米結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910163328.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109911844B 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN109911844B 申請公布日 2021-09-21
分類號 B81C1/00（2006.01）I;B82Y40/00（2011.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 章瀟慧;龔明 申請（專利權(quán)）人 中車工業(yè)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王慶龍;苗曉靜
地址 100070北京市豐臺區(qū)南四環(huán)西路188號十一區(qū)6號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例提供了一種仿蝴蝶翅膀的三維納米結(jié)構(gòu)制備方法及三維納米結(jié)構(gòu)，所述方法包括：在基底表面涂覆光刻膠；控制兩束激光入射光呈預(yù)設(shè)角度照射所述光刻膠表面，利用兩束激光入射光的干涉效果在所述光刻膠表面制備周期性的納米條紋結(jié)構(gòu)，并通過所述激光入射光和所述基底的反射光形成的駐波在所述光刻膠側(cè)面形成周期性的納米結(jié)構(gòu)；利用表面帶有周期性的納米條紋結(jié)構(gòu)以及側(cè)面帶有周期性的納米結(jié)構(gòu)的光刻膠制備仿蝴蝶翅膀的三維納米結(jié)構(gòu)。本發(fā)明實施例采用激光干涉光刻法，在光刻膠表面制備出了納米條紋結(jié)構(gòu)，同時由入射光和基底反射光形成的駐波在光刻膠側(cè)面形成周期性的納米結(jié)構(gòu)，從而制備得到了仿蝴蝶翅膀的三維納米結(jié)構(gòu)。