一種帶自動(dòng)安全鎖操作臺(tái)的光刻機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021259862.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212569418U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212569418U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-19 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李俊毅;陳舜欽;姚恒裕;林雅芳;李雅瑜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 泉州市興博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 易敏 |
| 地址 | 362300福建省泉州市南安市石井鎮(zhèn)院前村2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶自動(dòng)安全鎖操作臺(tái)的光刻機(jī)，其結(jié)構(gòu)包括光刻機(jī)臺(tái)、警示器、操作收納倉(cāng)和操作臺(tái)，本實(shí)用新型具有以下有益效果，通過(guò)設(shè)有可滑動(dòng)的控制器，并將控制器設(shè)于操作臺(tái)座內(nèi)部，配合操作臺(tái)設(shè)有的防護(hù)擋板和活動(dòng)卡板，使設(shè)備需要開(kāi)啟活動(dòng)卡板并將控制器拖出后才能進(jìn)行控制使用，在不使用控制器時(shí)，防護(hù)擋板會(huì)自動(dòng)頂壓控制器回縮并在回位后被活動(dòng)卡板自動(dòng)鎖定，使設(shè)備在不使用時(shí)會(huì)自動(dòng)對(duì)控制器進(jìn)行防護(hù)鎖定，更好避免誤觸的不便和避免外物使控制器損壞，通過(guò)在控制臺(tái)處設(shè)有可移動(dòng)收納的坐墊、坐墊底座及坐墊支撐桿，使設(shè)備在使用時(shí)，能夠拖動(dòng)取出座椅，使設(shè)備更便于工作人員操作使用，減少另尋座椅和避免站立操作的不便。?? |
