一種光刻機(jī)自潤(rùn)滑履帶結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021262395.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212083893U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212083893U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李俊毅;姚恒裕;陳舜欽;李雅瑜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 泉州市興博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 362300福建省泉州市南安市石井鎮(zhèn)院前村2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光刻機(jī)自潤(rùn)滑履帶結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)包括箱體、光刻機(jī)、集成電路、履帶、主動(dòng)輪、負(fù)重輪、工作臺(tái)和激光機(jī)；箱體的頂端一側(cè)內(nèi)固定安裝有光刻機(jī)，箱體內(nèi)設(shè)有集成電路，光刻機(jī)頂端設(shè)有激光機(jī)，箱體一側(cè)固定安裝主動(dòng)輪和負(fù)重輪，履帶一端與主動(dòng)輪連接，一端與負(fù)重輪連接，履帶由若干鏈節(jié)組成，鏈節(jié)表面設(shè)有鏈板形成環(huán)形帶狀，鏈節(jié)內(nèi)部穿插銷(xiāo)軸，銷(xiāo)軸兩端設(shè)有滾輪，托輥內(nèi)設(shè)有自潤(rùn)滑軸承座，自潤(rùn)滑軸承座一端設(shè)有端座，端座設(shè)有轉(zhuǎn)軸貫穿于托輥內(nèi)部，轉(zhuǎn)軸設(shè)有有外密封圈與自潤(rùn)滑軸承座間隙配合，轉(zhuǎn)軸設(shè)有自潤(rùn)滑軸承與外密封圈間隙配合并與內(nèi)密封圈間隙配合，本實(shí)用新型具有對(duì)光刻機(jī)履帶進(jìn)行自潤(rùn)滑的有益效果。?? |
