一種具有定量供水的防回水光刻機
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021689214.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212623570U | 公開（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申請公布號 | CN212623570U | 申請公布日 | 2021-02-26 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李俊毅;陳舜欽;姚恒裕;林雅芳;李雅瑜 | 申請（專利權(quán)）人 | 福建安芯半導體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 泉州市興博知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 易敏 |
| 地址 | 362300福建省泉州市南安市石井鎮(zhèn)院前村2號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種具有定量供水的防回水光刻機，其結(jié)構(gòu)包括光刻機和供水裝置，光刻機左端鑲嵌設有供水裝置，供水裝置與光刻機電連接，本實用新型具有以下有益效果，通過在水箱裝配座內(nèi)部設有供水頂壓頭搭配具有供水活動板的便捷水箱，在放置時供水活動板會被供水頂壓頭頂起實現(xiàn)水箱供水的開啟，而在水箱提起時，供水活動板會自動閉合關(guān)閉水箱，使水箱能夠通過直接放置裝配使用時，便于水箱的裝配，使水箱便于更換維修，通過在水箱裝配座上設有升降用電機的通電聯(lián)動裝置，并將通電聯(lián)動裝置與閥門的密閉蓋板相連，使設備在閥門開啟時設備會對升降電機斷電，反之則通電，使設備能夠防止供水時水箱的升降移動，保證供水的正常運行。?? |
