一種簡(jiǎn)易維護(hù)排風(fēng)變頻器的光刻機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021368738.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212112128U | 公開（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212112128U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-08 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李俊毅;姚恒裕;林雅芳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 泉州市興博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 362300福建省泉州市南安市石井鎮(zhèn)院前村2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種簡(jiǎn)易維護(hù)排風(fēng)變頻器的光刻機(jī)，其結(jié)構(gòu)包括框架、護(hù)殼、顯示屏、鍵盤、LP單元、機(jī)體組件、電源盒、控制組件、排風(fēng)組件、工控組件和裝卸機(jī)構(gòu)，本實(shí)用新型具有以下有益效果，為解決光刻機(jī)使用時(shí)較難對(duì)護(hù)殼進(jìn)行簡(jiǎn)易的裝卸，影響排風(fēng)變頻器維護(hù)便利和增加勞動(dòng)施力的問題，通過在框架上設(shè)置了裝卸機(jī)構(gòu)，再通過旋出貼板上的螺栓后，再拉動(dòng)卡持機(jī)構(gòu)，使底板、承接板和貼板在撐架上進(jìn)行翻轉(zhuǎn)打開，使框架內(nèi)部展現(xiàn)出，達(dá)到便捷有效的對(duì)護(hù)殼進(jìn)行裝卸，提高排風(fēng)變頻器維護(hù)便利和減少勞動(dòng)施力的效果。?? |
