一種可分離組裝掩模臺的光刻機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021462768.8 申請日 -
公開（公告）號 CN212276216U 公開（公告）日 2021-01-01
申請公布號 CN212276216U 申請公布日 2021-01-01
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李俊毅;姚恒裕;陳舜欽 申請（專利權(quán)）人 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 泉州市興博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司
地址 362300 福建省泉州市南安市石井鎮(zhèn)院前村2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可分離組裝掩模臺的光刻機(jī)，其結(jié)構(gòu)包括機(jī)座、晶圓裝配座、光刻機(jī)體、機(jī)架、顯示器、控制器和掩模臺，本實用新型具有以下有益效果，通過設(shè)有裝配側(cè)板和裝配卡桿及第一壓縮彈簧，使掩模臺能夠通過滑動控制頭解除裝配連接，且掩模臺解鎖時裝配側(cè)板會受第一壓縮彈簧的力升起，在裝配側(cè)板升起后用戶可以抽出掩模板裝配臺進(jìn)行維護(hù)清潔和更換，通過在裝配側(cè)板上設(shè)有活動頂板和活動墊板及頂壓桿，并在裝配卡桿與機(jī)座連接處設(shè)有外擴(kuò)板，使裝配側(cè)板在進(jìn)行裝配時，外擴(kuò)板因為可外擴(kuò)性能夠更好的適應(yīng)不同的裝配孔，而頂壓桿會因為裝配側(cè)板降至底部頂壓活動頂板和頂壓墊板上升而頂壓掩模板裝配臺，使不同的掩模板裝配臺也能夠穩(wěn)定裝配。