一種氫原子鈍化方法及氫原子鈍化裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201810437078.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN108649101B | 公開（公告）日 | 2018-10-12 |
| 申請公布號 | CN108649101B | 申請公布日 | 2018-10-12 |
| 分類號 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 邱江南;劉慶平;張明明;趙戟;李超;陳園;付少劍 | 申請（專利權(quán)）人 | 上饒市弘業(yè)新能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 江西展宇新能源股份有限公司;上饒市弘業(yè)新能源有限公司 |
| 地址 | 334100江西省上饒市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)旭日片區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種氫原子鈍化方法，在將待鈍化材料置于腔室中后，會(huì)通過預(yù)設(shè)的過濾板對包括有氫原子的第一混合體進(jìn)行過濾，過濾所得的第二混合體中的氫原子濃度需要高于預(yù)先生成的第一混合體中氫原子濃度。之后在通過第二混合體對待鈍化材料進(jìn)行鈍化，由于氫原子可以有效的與待鈍化材料中的懸掛鍵、結(jié)構(gòu)缺陷等復(fù)合中心相結(jié)合，從而減少待鈍化材料中的復(fù)合中心的數(shù)量，增強(qiáng)待鈍化材料的鈍化效果。同時(shí)通過過濾板將第一混合體過濾成第二混合體時(shí)，可以有效降低其擴(kuò)散時(shí)的移動(dòng)速度，從而有效減少第二混合體對待鈍化材料表面的轟擊效果，增加對待鈍化材料的鈍化效果。本發(fā)明還提供了一種氫原子鈍化裝置，同樣具有上述有益效果。?? |
