一種RENA制絨、刻蝕機(jī)的補(bǔ)液閥門流量校準(zhǔn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610116059.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105609591B 公開(kāi)（公告）日 2017-07-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN105609591B 申請(qǐng)公布日 2017-07-11
分類號(hào) H01L31/18;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃明;楊曉琴;林振龍;陳園 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上饒市弘業(yè)新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江西省專利事務(wù)所 代理人 江西展宇新能源股份有限公司;江西展宇新能科技有限公司
地址 334100 江西省上饒市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)金光大道8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種RENA制絨、刻蝕機(jī)的補(bǔ)液閥門流量校準(zhǔn)方法，通過(guò)人為屏蔽感應(yīng)器和簡(jiǎn)單的卡表計(jì)算就能精確校準(zhǔn)閥門流量，減少了常規(guī)校準(zhǔn)流量過(guò)程中的需停機(jī)、排液、校準(zhǔn)的模式。節(jié)省了異常停機(jī)時(shí)間，從而提高生產(chǎn)效率。