一種氫原子鈍化方法及氫原子鈍化裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810437078.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108649101A 公開(kāi)（公告）日 2018-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN108649101A 申請(qǐng)公布日 2018-10-12
分類號(hào) H01L31/18;H01L31/0352 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱江南;劉慶平;張明明;趙戟;李超;陳園;付少劍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上饒市弘業(yè)新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江西展宇新能源股份有限公司;上饒市弘業(yè)新能源有限公司
地址 334100 江西省上饒市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)旭日片區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種氫原子鈍化方法，在將待鈍化材料置于腔室中后，會(huì)通過(guò)預(yù)設(shè)的過(guò)濾板對(duì)包括有氫原子的第一混合體進(jìn)行過(guò)濾，過(guò)濾所得的第二混合體中的氫原子濃度需要高于預(yù)先生成的第一混合體中氫原子濃度。之后在通過(guò)第二混合體對(duì)待鈍化材料進(jìn)行鈍化，由于氫原子可以有效的與待鈍化材料中的懸掛鍵、結(jié)構(gòu)缺陷等復(fù)合中心相結(jié)合，從而減少待鈍化材料中的復(fù)合中心的數(shù)量，增強(qiáng)待鈍化材料的鈍化效果。同時(shí)通過(guò)過(guò)濾板將第一混合體過(guò)濾成第二混合體時(shí)，可以有效降低其擴(kuò)散時(shí)的移動(dòng)速度，從而有效減少第二混合體對(duì)待鈍化材料表面的轟擊效果，增加對(duì)待鈍化材料的鈍化效果。本發(fā)明還提供了一種氫原子鈍化裝置，同樣具有上述有益效果。