一種RENA制絨、刻蝕機的補液閥門流量校準(zhǔn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610116059.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105609591A 公開（公告）日 2017-07-11
申請公布號 CN105609591A 申請公布日 2017-07-11
分類號 H01L31/18;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃明;楊曉琴;林振龍;陳園 申請（專利權(quán)）人 上饒市弘業(yè)新能源有限公司
代理機構(gòu) 江西省專利事務(wù)所 代理人 楊志宇
地址 334100 江西省上饒市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)金光大道8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種RENA制絨、刻蝕機的補液閥門流量校準(zhǔn)方法，通過人為屏蔽感應(yīng)器和簡單的卡表計算就能精確校準(zhǔn)閥門流量，減少了常規(guī)校準(zhǔn)流量過程中的需停機、排液、校準(zhǔn)的模式。節(jié)省了異常停機時間，從而提高生產(chǎn)效率。