一種MEMS傳感器及電子產(chǎn)品
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121679206.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215288007U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215288007U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分類(lèi) | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 李向光;王喆;方華斌 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 濰坊歌爾微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 濰坊正信致遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 賈寶娟 |
| 地址 | 261031山東省濰坊市高新區(qū)新城街道蓉花社區(qū)蓉花路102號(hào)歌爾二期工業(yè)園10號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種MEMS傳感器及電子產(chǎn)品，MEMS傳感器包括殼體、芯片模組及基板；殼體罩設(shè)在基板上，芯片模組位于殼體內(nèi)的基板上，殼體的內(nèi)壁上設(shè)有支撐凸臺(tái)，支撐凸臺(tái)位于芯片模組的上方，且支撐凸臺(tái)上設(shè)置有支撐限位片，支撐限位片上設(shè)有貫通的透氣孔、支撐限位片的頂端設(shè)置有防水透氣膜，防水透氣膜用于防止外部水進(jìn)入透氣孔。電子產(chǎn)品包括產(chǎn)品主體和MEMS傳感器。本實(shí)用新型不僅具備防水功能，而且制作工藝簡(jiǎn)單、制造成本低、產(chǎn)品可靠性強(qiáng)。 |
