一種傳感器及電子設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910557212.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110345972B 公開(kāi)（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN110345972B 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) G01D5/16（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄒泉波;丁凱文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 濰坊歌爾微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王昭智
地址 261061 山東省濰坊市高新區(qū)新城街道蓉花社區(qū)蓉花路102號(hào)歌爾二期工業(yè)園10號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種傳感器及電子設(shè)備，包括襯底以及連接在襯底上的敏感膜，敏感膜懸置在襯底上且被配置為當(dāng)受到外力時(shí)，在垂直于其膜面的方向上發(fā)生形變；在敏感膜上還設(shè)置有磁阻；還包括連接在襯底上的固定部，固定部對(duì)外力不敏感；固定部與敏感膜位于同一平面內(nèi)，固定部上鄰近磁阻的位置設(shè)置有導(dǎo)線，所述導(dǎo)線被配置為通入電流以產(chǎn)生被所述磁阻感應(yīng)的磁場(chǎng)。根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例，敏感膜和固定部位于同一平面內(nèi)，可以避免傳統(tǒng)傳感器結(jié)構(gòu)在制造時(shí)的對(duì)準(zhǔn)等問(wèn)題，由此可以提高檢測(cè)結(jié)構(gòu)的制作精度，保證了傳感器的性能。