一種MEMS傳感器及電子產(chǎn)品

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121679207.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215288008U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215288008U 申請公布日 2021-12-24
分類號 B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 王超;李向光;田峻瑜;方華斌 申請（專利權(quán)）人 濰坊歌爾微電子有限公司
代理機構(gòu) 濰坊正信致遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賈寶娟
地址 261031山東省濰坊市高新區(qū)新城街道蓉花社區(qū)蓉花路102號歌爾二期工業(yè)園10號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種MEMS傳感器及電子產(chǎn)品，MEMS傳感器包括上殼體、下殼體、芯片模組及基板；下殼體罩設(shè)在基板上，芯片模組位于下殼體內(nèi)的基板上，上殼體上設(shè)有貫通的透氣孔，上殼體和下殼體之間夾設(shè)有防水透氣膜。電子產(chǎn)品包括產(chǎn)品主體和MEMS傳感器。本實用新型不僅具備防水防塵性能，而且制作工藝簡單、制造成本低、產(chǎn)品可靠性強。