一種高致密度高純度碳化硅襯底材料的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810164824.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108558405B | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108558405B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | C04B35/565;C04B35/622 | 分類 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 白秋云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都睿道專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 薛波 |
| 地址 | 610200 四川省成都市雙流區(qū)西航港空港二路1166號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種高致密度高純度碳化硅襯底材料的制備方法,包括以下步驟：S1、β?碳化硅和α?碳化硅混合，其中β?碳化硅占β?碳化硅和α?碳化硅質(zhì)量之和的1?15％；S2、將步驟S1所得原料置于球磨機(jī)內(nèi)進(jìn)行混料24小時(shí)，然后將粉末取出，過篩后將粉末置于模具中進(jìn)行熱壓燒結(jié)。該制備工藝不僅提高了α?碳化硅粉末燒結(jié)致密化程度，同時(shí)也避免了傳統(tǒng)燒結(jié)助劑對(duì)材料本身性能的影響。 |
