一種耐腐蝕涂層及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910386092.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110158032B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110158032B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-28 |
| 分類號(hào) | C23C14/08（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C28/04（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 白秋云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都睿道專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 薛波 |
| 地址 | 610200四川省成都市雙流區(qū)西航港空港二路1166號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種耐腐蝕涂層及其制備方法，包括至少一層多孔氧化釔膜層和至少一層致密氧化釔膜層，所述多孔氧化釔膜層和所述致密氧化釔膜層疊覆設(shè)置，其中，至少一所述多孔氧化釔膜層涂覆于工件表面，至少一所述致密氧化釔膜層位于所述耐腐蝕涂層的最外層，采用氣相沉積法，氧化釔為靶材，以鍍膜速度5?10微米/小時(shí)，在工件的表面制備多孔氧化釔膜層；在通氧速度V：0 |
