一種CVD碳化硅反應(yīng)腔室真空度測(cè)量裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020029167.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211717702U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211717702U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-20 |
| 分類號(hào) | G01L21/00(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 白秋云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都睿道專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市雙流區(qū)西航港空港二路1166號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種CVD碳化硅反應(yīng)腔室真空度測(cè)量裝置，設(shè)計(jì)真空度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括反應(yīng)腔室、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和用于測(cè)量反應(yīng)腔室內(nèi)真空度的真空測(cè)量件；通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使得真空測(cè)量件沿安裝軸的軸向運(yùn)動(dòng)，即可測(cè)量出離沉積反應(yīng)不同高度處的真空度；通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使得真空測(cè)量件沿垂直于安裝軸軸線的方向運(yùn)動(dòng)，即可測(cè)量出與沉積反應(yīng)同一高度，不同距離處的真空度。本實(shí)用新型具有可測(cè)量出不同位置處的真空度，提高控制壓力區(qū)間的準(zhǔn)確度的特點(diǎn)。?? |
