一種SiO2基底鍍Y2O3膜用夾具
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020736676.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212834004U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請公布號 | CN212834004U | 申請公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 白秋云 | 申請（專利權(quán)）人 | 成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機構(gòu) | 成都睿道專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市雙流區(qū)西航港空港二路1166號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及蒸發(fā)鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種SiO2基底鍍Y2O3膜用夾具，包括底板、壓環(huán)和設(shè)于底板的用于壓緊壓環(huán)的壓緊組件；底板的載物面沿徑向開設(shè)有滑槽，滑槽底部開設(shè)有多個銷孔，多個銷孔沿徑向排列；壓緊組件包括壓板、彈性壓緊件和彈簧銷，壓板卡設(shè)于滑槽且壓板可沿滑槽的延伸方向滑動；彈簧銷設(shè)于壓板靠近滑槽槽底的一板面，且彈簧銷卡設(shè)于銷孔，以固定壓板；在本實用新型中，在底板的徑向上設(shè)置有多個銷孔，通過將壓緊組件上的彈簧銷固定在不同的銷孔中，調(diào)節(jié)彈性壓緊件與底板中心的間距，再配合相應(yīng)尺寸的壓環(huán)，可對不同尺寸的物件進行鍍膜，提高了夾具的適用范圍，在使用時，只需要更換壓環(huán)即可，使用方便。?? |
