一種蒸發(fā)鍍膜用回轉(zhuǎn)工裝
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021158371.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212834006U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請公布號 | CN212834006U | 申請公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 白秋云 | 申請（專利權(quán)）人 | 成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都睿道專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市雙流區(qū)西航港空港二路1166號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及公裝夾具技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種蒸發(fā)鍍膜用回轉(zhuǎn)工裝，包括電機(jī)、支架、傳動機(jī)構(gòu)和夾具盤，支架與真空腔的內(nèi)壁固定連接，傳動機(jī)構(gòu)設(shè)于支架；傳動機(jī)構(gòu)包括中心齒輪和行星齒輪，電機(jī)的輸出軸與中心齒輪連接，中心齒輪與行星齒輪嚙合，以帶動行星齒輪自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)；行星齒輪同軸設(shè)置有連接桿，夾具盤與連接桿可拆卸連接。在本實用新型中，夾具盤與連接桿可拆卸連接，在安裝基底時，可將夾具盤與連接桿分離，待夾具盤上按住好基底后，在將夾具盤固定在連接桿上，可拆卸的連接方式，便于安裝基底。?? |
