一種基于脊形電極結(jié)構(gòu)的納米線排列與定位方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201210391210.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN103708411B | 公開(kāi)（公告）日 | 2016-01-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103708411B | 申請(qǐng)公布日 | 2016-01-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 黃輝;渠波;劉蓬勃 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳感圣科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京金之橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 黃輝;渠波;劉蓬勃;深圳感圣科技有限公司 |
| 地址 | 116024 遼寧省大連市甘井子區(qū)凌工路2號(hào)理工大學(xué)創(chuàng)新園大廈A1226 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種基于脊形電極結(jié)構(gòu)的納米線排列與定位方法，具體步驟包括：第一步：在襯底表面制備出細(xì)長(zhǎng)的脊形結(jié)構(gòu)；第二步：通過(guò)鍍膜和光刻工藝，在所述脊形結(jié)構(gòu)的兩端分別制備電極；第三步：在通過(guò)涂膠工藝，在所述襯底表面覆蓋一層膠體；由于膠體具有流動(dòng)性，會(huì)使襯底平坦化，因此所述脊形結(jié)構(gòu)頂部的膠體比其他部位的膠體?。坏谒牟剑簩⒑屑{米線的溶液，滴在所述襯底表面；在所述脊形結(jié)構(gòu)兩端的電極上施加電場(chǎng)，則所述納米線會(huì)被吸附并定位在所述脊形結(jié)構(gòu)的頂部，實(shí)現(xiàn)納米線的精確定位；本發(fā)明通過(guò)脊形電極結(jié)構(gòu)來(lái)精確控制納米線的排列位置，具有工藝簡(jiǎn)單、適合規(guī)模化制備的特點(diǎn)。 |
