一種半導(dǎo)體制造設(shè)備和工藝的智能控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610835520.3 申請日 -
公開（公告）號 CN106483942B 公開（公告）日 2019-06-04
申請公布號 CN106483942B 申請公布日 2019-06-04
分類號 G05B19/418（2006.01）I; G06K9/62（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 孫敬璽 申請（專利權(quán)）人 惠州匠韻智能科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 孫敬璽;深圳匠韻智能有限公司
地址 516083 廣東省惠州市大亞灣西區(qū)科技創(chuàng)新園科技路1號創(chuàng)新大廈裙樓1棟1層804號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造設(shè)備和工藝的智能控制系統(tǒng)及方法，其中智能控制系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)聚類處理單元、數(shù)據(jù)分類處理單元、數(shù)據(jù)標注單元、支持向量機訓(xùn)練及測試驗證單元、智能監(jiān)控單元、持續(xù)學(xué)習(xí)單元；數(shù)據(jù)聚類處理單元通過K?均值聚類算法對數(shù)據(jù)進行預(yù)處理,并執(zhí)行離群判斷算法得到離群點候選集；數(shù)據(jù)分類處理單元通過局部離群因子法對所述離群點候選集進行數(shù)據(jù)分類處理得到樣本數(shù)據(jù)集；支持向量機訓(xùn)練及測試驗證單元用于將樣本數(shù)據(jù)集劃分為訓(xùn)練樣本集和測試樣本集，并利用訓(xùn)練樣本集對支持向量機進行訓(xùn)練，得到訓(xùn)練結(jié)果，本發(fā)明通過基于支持向量機的機器學(xué)習(xí)建立半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的智能控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的智能控制。